DUV

3月25日消息，据报道，中科院成功研发出了固态DUV(深紫外)激光，可发射193nm的相干光，与目前主流的DUV曝光波长一致，能将国产半导体工艺推进至3nm！ 据报道，中国科学院的科研团队近日在《国际...